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位置检测装置及位置检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010919128.3
申请日：
2020-09-03
公开(公告)号：
CN112234011A
公开(公告)日：
2021-01-15
发明(设计)人：
于静
张为强
李志新
王嘉琪
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号
IPC主分类号：
H01L2168
IPC分类号：
代理机构：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人：
马吉兰
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-15 | 公开 | 公开 |
| 2021-02-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20200903 |