一种立式晶圆形状测量仪

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320485948.1

申请日：

2013-08-09

公开(公告)号：

CN203375950U

公开(公告)日：

2014-01-01

发明(设计)人：

夏发平

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山开发区中小企业园风琴路108号

IPC主分类号：

G01B1130

IPC分类号：

G01B1106

代理机构：

江苏致邦律师事务所 32230

代理人：

谢伟

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101627612730 IPC(主分类):G01B 11/30 专利号:ZL2013204859481 申请日:20130809 授权公告日:20140101 终止日期:20140809
2014-01-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种立式晶圆形状测量仪 [P].

夏发平 .

中国专利 :CN103389051A ,2013-11-13

[2]

立式晶圆形状测量仪 [P].

崔华 .

中国专利 :CN302454189S ,2013-06-05

[3]

一种可补偿轴系误差的立式晶圆形状测量装置 [P].

夏发平 .

中国专利 :CN203375951U ,2014-01-01

[4]

一种可补偿轴系误差的立式晶圆形状测量装置 [P].

夏发平 .

中国专利 :CN103389052A ,2013-11-13

[5]

表面形状测量仪 [P].

渡边纯人 ;

永冈靖纪 .

中国专利 :CN303986180S ,2016-12-28

[6]

一种轧辊辊身形状测量仪 [P].

朱玉龙 ;

姜金辉 ;

刘永锋 .

中国专利 :CN220454482U ,2024-02-06

[7]

一种圆形形变测量仪 [P].

代春泉 .

中国专利 :CN202470996U ,2012-10-03

[8]

测量仪（圆形） [P].

徐立富 .

中国专利 :CN3615162D ,2007-02-28

[9]

一种立式尺寸测量仪 [P].

梁火炼 ;

许伟杰 ;

谢茂源 ;

艾强 .

中国专利 :CN218211183U ,2023-01-03

[10]

一种立式尺寸测量仪 [P].

梁火炼 ;

许伟杰 ;

谢茂源 ;

杨如寿 .

中国专利 :CN218211184U ,2023-01-03

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