真空紫外光偏振元件、真空紫外光偏振装置、真空紫外光偏振方法及取向方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201980034821.8
申请日
2019-05-31
公开(公告)号
CN112189157B
公开(公告)日
2021-01-05
发明(设计)人
那胁洋平 鹤冈和之
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
G02B530
IPC分类号
G02F11337
代理机构
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人
王灵菇
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
真空紫外光管照明装置 [P]. 
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孙红胜 ;
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[2]
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[8]
真空紫外光谱采集装置及方法 [P]. 
王庆祥 ;
吕全超 ;
洪波 ;
吴锋明 ;
俞晓峰 ;
胡建坤 ;
喻正宁 ;
韩双来 .
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[9]
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[10]
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