一种全折射投影光学系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710040304.0

申请日：

2007-04-29

公开(公告)号：

CN100468119C

公开(公告)日：

2007-10-31

发明(设计)人：

蔡燕民

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G02B1300

IPC分类号：

G02B904 G02B102

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-10-31	公开	公开
2007-12-26	实质审查的生效	实质审查的生效
2018-04-27	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G02B 13/00 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号
2009-03-11	授权	授权

共 50 条

[1]

全折射式投影光学系统 [P].

蔡燕民 .

中国专利 :CN101369053B ,2009-02-18

[2]

全折射投影光学系统 [P].

蔡燕民 .

中国专利 :CN100559225C ,2008-07-09

[3]

一种全折射式投影光学系统 [P].

储兆祥 ;

黄玲 ;

李铁军 .

中国专利 :CN101231378B ,2008-07-30

[4]

一种全折射式投影光学系统 [P].

蔡燕民 ;

刘国淦 ;

王帆 ;

段立峰 .

中国专利 :CN101290389A ,2008-10-22

[5]

全折射式投影光学系统 [P].

马韬 .

中国专利 :CN207074299U ,2018-03-06

[6]

一种全折射非球面投影光学系统 [P].

蔡燕民 .

中国专利 :CN101216593A ,2008-07-09

[7]

一种全折射浸液式投影光学系统、装置及其应用 [P].

蔡燕民 .

中国专利 :CN100492181C ,2008-01-09

[8]

一种全折射浸液式投影光学系统、装置及其应用 [P].

蔡燕民 .

中国专利 :CN101101449A ,2008-01-09

[9]

一种投影光学系统 [P].

冉英华 ;

邢廷文 ;

林妩媚 ;

吕保斌 ;

陈红丽 ;

张海波 ;

白瑜 .

中国专利 :CN103472586B ,2013-12-25

[10]

一种投影光学系统 [P].

储兆祥 ;

李铁军 .

中国专利 :CN100587539C ,2007-03-14

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