用于以提高的效率生成EUV辐射或软X射线的方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980150671.3

申请日：

2009-12-09

公开(公告)号：

CN102257883A

公开(公告)日：

2011-11-23

发明(设计)人：

J.琼克斯 F.A.凯珀 H.E.弗布拉克 J.W.内夫

申请人：

申请人地址：

荷兰艾恩德霍芬

IPC主分类号：

H05G200

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

李亚非;刘鹏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

用于产生EUV辐射或软X射线的方法和设备 [P].

J.W.内夫 ;

D.M.沃德雷万格 ;

P.青克 .

中国专利 :CN102119583A ,2011-07-06

[2]

提高EUV和/或软X射线灯的转换效率的方法及相应装置 [P].

J·琼克斯 ;

D·M·沃德雷芬格 .

中国专利 :CN101444148B ,2009-05-27

[3]

用于产生特别是EUV辐射和/或软X射线辐射的方法和设备 [P].

G·H·德拉 ;

R·T·A·阿佩茨 ;

W·内夫 ;

O·罗西尔 ;

P·青克 .

中国专利 :CN101390453A ,2009-03-18

[4]

保护用于产生EUV辐射和/或软X射线的辐射源对抗短路的方法 [P].

D·M·沃德雷范格 ;

J·琼克斯 .

中国专利 :CN101199240A ,2008-06-11

[5]

产生极紫外辐射或软X射线辐射的方法和设备 [P].

J·约恩克尔斯 ;

D·M·沃德雷范格 ;

W·内夫 .

中国专利 :CN100420352C ,2006-10-18

[6]

用于产生远紫外线辐射或软X射线辐射的方法和装置 [P].

W·内夫 ;

K·博格曼 ;

O·罗西尔 ;

J·潘克特 .

中国专利 :CN1500369A ,2004-05-26

[7]

产生极端紫外辐射或软X射线辐射的方法及装置 [P].

马丁·施密特 ;

雷内-赫尔穆特·勒贝尔 ;

乌韦·施塔姆 .

中国专利 :CN1820556B ,2006-08-16

[8]

X射线辐射源及其应用和用于产生X射线辐射的方法 [P].

O.海德 ;

T.休格斯 ;

J.西尔特尔 .

中国专利 :CN104364876B ,2015-02-18

[9]

产生远紫外辐照和软X射线辐照的方法和装置 [P].

J·克莱恩 ;

W·内夫 ;

S·赛维特 ;

K·伯格曼 ;

J·潘克特 ;

M·罗肯 .

中国专利 :CN1531840A ,2004-09-22

[10]

用于产生辐射的方法和装置 [P].

马格努斯·伯格伦德 ;

比约恩·汉森 ;

奥斯卡·亨伯格 ;

汉斯·赫茨 ;

拉斯·赖米尔 .

中国专利 :CN100366129C ,2005-08-31

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-02-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101177709747 IPC(主分类):H05G 2/00 专利申请号:2009801506713 申请日:20091209
2019-08-23	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H05G 2/00 登记生效日:20190805 变更事项:专利权人变更前权利人:皇家飞利浦有限公司变更后权利人:优志旺电机株式会社变更事项:地址变更前权利人:荷兰艾恩德霍芬变更后权利人:日本东京都变更事项:共同专利权人变更前权利人:优志旺电机株式会社
2011-11-23	公开	公开
2014-12-03	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101707765481 IPC(主分类):H05G 2/00 专利号:ZL2009801506713 变更事项:专利权人变更前:皇家飞利浦电子股份有限公司变更后:皇家飞利浦有限公司变更事项:地址变更前:荷兰艾恩德霍芬变更后:荷兰艾恩德霍芬变更事项:专利权人变更前:爱克斯特里姆科技有限责任公司变更后:爱克斯特里姆科技有限责任公司
2014-12-03	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101707765482 IPC(主分类):H05G 2/00 专利号:ZL2009801506713 变更事项:专利权人变更前权利人:皇家飞利浦有限公司变更后权利人:皇家飞利浦有限公司变更事项:地址变更前权利人:荷兰艾恩德霍芬变更后权利人:荷兰艾恩德霍芬变更事项:专利权人变更前权利人:爱克斯特里姆科技有限责任公司变更后权利人:优志旺电机株式会社登记生效日:20141102
2014-06-25	授权	授权