铜互连线的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310124031.3

申请日：

2013-04-10

公开(公告)号：

CN104103575A

公开(公告)日：

2014-10-15

发明(设计)人：

张城龙张海洋

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101588369299 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2013101240313 申请日:20130410
2014-10-15	公开	公开
2017-12-29	授权	授权

共 50 条

[1]

铜互连线的形成方法 [P].

彭冰清 .

中国专利 :CN103000570B ,2013-03-27

[2]

形成铜互连线的方法 [P].

肯尼思·C·卡迪恩 ;

安妮·E·米勒 ;

艾伦·D·费勒 .

中国专利 :CN1256765C ,2004-05-05

[3]

铜互连线的形成方法及电镀装置 [P].

卢炯平 ;

聂佳相 .

中国专利 :CN102044427A ,2011-05-04

[4]

铜互连线间空气隙的形成方法 [P].

林宏 .

中国专利 :CN104319260A ,2015-01-28

[5]

铜互连线的形成方法和介质层的处理方法 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN102054748B ,2011-05-11

[6]

一种铜互连的形成方法 [P].

姬峰 ;

李磊 ;

陈玉文 ;

胡友存 ;

张亮 .

中国专利 :CN102364673A ,2012-02-29

[7]

铜互连线的制造方法 [P].

许家彰 ;

蔡旻錞 ;

陈建勋 .

中国专利 :CN112382608A ,2021-02-19

[8]

铜互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN105448809A ,2016-03-30

[9]

铜互连结构的形成方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN114032592A ,2022-02-11

[10]

铜互连结构的形成方法 [P].

聂佳相 .

中国专利 :CN102054760A ,2011-05-11

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