气体流量调节装置及其调节方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610949047.1

申请日：

2016-10-26

公开(公告)号：

CN107993914A

公开(公告)日：

2018-05-04

发明(设计)人：

左涛涛吴狄

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249

代理人：

周乃鑫;周荣芳

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-06	授权	授权
2019-04-09	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01J 37/32 变更事项:申请人变更前:中微半导体设备（上海）有限公司变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
2018-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20161026
2018-05-04	公开	公开

共 50 条

[1]

气体流量调节装置 [P].

徐蠡 .

中国专利 :CN210601069U ,2020-05-22

[2]

气体流量调节装置 [P].

李森 ;

赵丕盛 ;

李慧 ;

洪跃镇 ;

冯红旗 ;

臧华兵 ;

姚晓寒 ;

李书灵 .

中国专利 :CN112360995A ,2021-02-12

[3]

气体流量调节装置 [P].

李森 ;

赵丕盛 ;

李慧 ;

洪跃镇 ;

冯红旗 ;

臧华兵 ;

姚晓寒 ;

李书灵 .

中国专利 :CN213744954U ,2021-07-20

[4]

气体流量调节装置 [P].

李昌勇 ;

马光明 .

中国专利 :CN202838039U ,2013-03-27

[5]

气体流量调节装置 [P].

李森 ;

赵丕盛 ;

李慧 ;

洪跃镇 ;

冯红旗 ;

臧华兵 ;

姚晓寒 ;

李书灵 .

中国专利 :CN112360995B ,2025-08-26

[6]

流量调节装置以及流量调节方法 [P].

李永富 ;

王安国 ;

李援开 .

中国专利 :CN117117391B ,2024-01-26

[7]

流量调节装置和流量调节方法 [P].

魏佐君 ;

纪传宇 ;

高浩添 ;

陈昊宇 ;

任光明 .

中国专利 :CN118192678A ,2024-06-14

[8]

可调式气体流量调节装置 [P].

吴亚峰 ;

许向明 ;

杨腾 ;

潘胜兵 .

中国专利 :CN2795162Y ,2006-07-12

[9]

流量调节装置及气体流量检定系统 [P].

林曙曦 ;

林强 ;

陈教郸 ;

陈书强 ;

陈晨 ;

赵百武 .

中国专利 :CN217003099U ,2022-07-19

[10]

流量调节装置及调节方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110030422A ,2019-07-19

← 1 2 3 4 5 →