用于去除杂质的基板处理装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201922236987.8
申请日
2019-12-13
公开(公告)号
CN211125592U
公开(公告)日
2020-07-28
发明(设计)人
白承大 金康元 金成烨
申请人
申请人地址
韩国京畿道
IPC主分类号
H01L2167
IPC分类号
B08B302
代理机构
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240
代理人
梁小龙
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[4]
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[5]
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黄基渊 ;
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[6]
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