一种FINFET制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310477088.1

申请日：

2013-10-13

公开(公告)号：

CN104576380B

公开(公告)日：

2015-04-29

发明(设计)人：

刘云飞尹海洲张珂珂

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L21265

代理机构：

北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370

代理人：

朱海波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101611397045 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2013104770881 申请日:20131013
2015-04-29	公开	公开
2017-09-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种FinFET及其制造方法 [P].

尹海洲 ;

刘云飞 .

中国专利 :CN104576386B ,2015-04-29

[2]

一种非对称FinFET结构及其制造方法 [P].

尹海洲 ;

张珂珂 .

中国专利 :CN104576382B ,2015-04-29

[3]

一种FINFET结构及其制造方法 [P].

尹海洲 ;

刘云飞 .

中国专利 :CN104576384A ,2015-04-29

[4]

一种FinFET结构及其制造方法 [P].

尹海洲 ;

刘云飞 .

中国专利 :CN104576385A ,2015-04-29

[5]

一种FINFET制造方法 [P].

刘云飞 ;

尹海洲 ;

张珂珂 .

中国专利 :CN105097528A ,2015-11-25

[6]

一种FINFET结构及其制造方法 [P].

刘云飞 ;

尹海洲 .

中国专利 :CN105590961A ,2016-05-18

[7]

一种FinFET结构及其制造方法 [P].

尹海洲 ;

张珂珂 .

中国专利 :CN104576383A ,2015-04-29

[8]

一种FinFET器件及其制造方法 [P].

刘云飞 ;

尹海洲 ;

李睿 .

中国专利 :CN105632930A ,2016-06-01

[9]

一种FinFET制造方法 [P].

张珂珂 ;

尹海洲 ;

刘云飞 .

中国专利 :CN105097527A ,2015-11-25

[10]

一种FinFET制造方法 [P].

尹海洲 ;

刘云飞 ;

张珂珂 .

中国专利 :CN105225956A ,2016-01-06

← 1 2 3 4 5 →