三维堆叠MEMS封装结构

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201520356956.5
申请日
2015-05-28
公开(公告)号
CN204714514U
公开(公告)日
2015-10-21
发明(设计)人
万里兮 肖智轶 钱静娴 翟玲玲 马力 项敏 沈建树
申请人
申请人地址
215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路112号
IPC主分类号
B81B702
IPC分类号
B81C100
代理机构
昆山四方专利事务所 32212
代理人
盛建德;段新颖
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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