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一种钼铝钼蚀刻液
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201610539322.2
申请日
:
2016-07-08
公开(公告)号
:
CN107587135A
公开(公告)日
:
2018-01-16
发明(设计)人
:
康威
鄢艳华
尹静雅
陈昊
申请人
:
申请人地址
:
518000 广东省深圳市坪山新区沙坣同富裕工业区
IPC主分类号
:
C23F126
IPC分类号
:
C23F120
代理机构
:
深圳市博锐专利事务所 44275
代理人
:
张明
法律状态
:
发明专利申请公布后的驳回
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-07-31
发明专利申请公布后的驳回
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23F 1/26 申请公布日:20180116
2018-01-16
公开
公开
2018-02-09
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/26 申请日:20160708
共 50 条
[1]
一种低磷酸型钼铝钼蚀刻液及其制备方法
[P].
张秋莲
论文数:
0
引用数:
0
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机构:
四川江化微电子材料有限公司
四川江化微电子材料有限公司
张秋莲
;
李瑞
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0
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机构:
四川江化微电子材料有限公司
四川江化微电子材料有限公司
李瑞
;
郏科龙
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机构:
四川江化微电子材料有限公司
四川江化微电子材料有限公司
郏科龙
;
邵勇
论文数:
0
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0
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0
机构:
四川江化微电子材料有限公司
四川江化微电子材料有限公司
邵勇
.
中国专利
:CN117779038A
,2024-03-29
[2]
一种钼蚀刻液
[P].
冯凯
论文数:
0
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机构:
湖北兴福电子材料股份有限公司
湖北兴福电子材料股份有限公司
冯凯
;
贺兆波
论文数:
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0
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机构:
湖北兴福电子材料股份有限公司
湖北兴福电子材料股份有限公司
贺兆波
;
叶瑞
论文数:
0
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0
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机构:
湖北兴福电子材料股份有限公司
湖北兴福电子材料股份有限公司
叶瑞
;
张庭
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机构:
湖北兴福电子材料股份有限公司
湖北兴福电子材料股份有限公司
张庭
;
苏张轩
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机构:
湖北兴福电子材料股份有限公司
湖北兴福电子材料股份有限公司
苏张轩
.
中国专利
:CN119824421A
,2025-04-15
[3]
一种铝/钼和钼/铝/钼蚀刻液及其制备方法和应用
[P].
王博
论文数:
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机构:
绵阳艾萨斯电子材料有限公司
绵阳艾萨斯电子材料有限公司
王博
;
夏姣
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机构:
绵阳艾萨斯电子材料有限公司
绵阳艾萨斯电子材料有限公司
夏姣
;
罗丽
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机构:
绵阳艾萨斯电子材料有限公司
绵阳艾萨斯电子材料有限公司
罗丽
;
陈浩
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机构:
绵阳艾萨斯电子材料有限公司
绵阳艾萨斯电子材料有限公司
陈浩
;
侯倩
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机构:
绵阳艾萨斯电子材料有限公司
绵阳艾萨斯电子材料有限公司
侯倩
;
叶帅
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机构:
绵阳艾萨斯电子材料有限公司
绵阳艾萨斯电子材料有限公司
叶帅
;
桂丹丹
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机构:
绵阳艾萨斯电子材料有限公司
绵阳艾萨斯电子材料有限公司
桂丹丹
.
中国专利
:CN119352026A
,2025-01-24
[4]
一种钼铝钼的兼容蚀刻液
[P].
戈士勇
论文数:
0
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0
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戈士勇
;
江强
论文数:
0
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0
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0
江强
.
中国专利
:CN110129797A
,2019-08-16
[5]
一种调控钼铝钼蚀刻形貌的蚀刻液
[P].
胡义杰
论文数:
0
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0
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胡义杰
;
郭元元
论文数:
0
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0
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郭元元
;
柳清
论文数:
0
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0
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柳清
.
中国专利
:CN106283058A
,2017-01-04
[6]
一种铝钼蚀刻液
[P].
殷福华
论文数:
0
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0
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殷福华
;
栾成
论文数:
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栾成
;
邵勇
论文数:
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邵勇
;
朱龙
论文数:
0
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0
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0
朱龙
.
中国专利
:CN101792907A
,2010-08-04
[7]
酸性钼铝钼蚀刻液制备系统
[P].
沈翠芬
论文数:
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0
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沈翠芬
;
戈士勇
论文数:
0
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0
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0
戈士勇
;
盛建伟
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0
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0
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盛建伟
.
中国专利
:CN202519335U
,2012-11-07
[8]
一种钼铝蚀刻液及其制备方法
[P].
王丹宇
论文数:
0
引用数:
0
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机构:
易安爱富(武汉)科技有限公司
易安爱富(武汉)科技有限公司
王丹宇
;
李泰亨
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0
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0
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机构:
易安爱富(武汉)科技有限公司
易安爱富(武汉)科技有限公司
李泰亨
;
白晓鹏
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机构:
易安爱富(武汉)科技有限公司
易安爱富(武汉)科技有限公司
白晓鹏
;
赵方方
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机构:
易安爱富(武汉)科技有限公司
易安爱富(武汉)科技有限公司
赵方方
;
王泽
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机构:
易安爱富(武汉)科技有限公司
易安爱富(武汉)科技有限公司
王泽
;
陈红波
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机构:
易安爱富(武汉)科技有限公司
易安爱富(武汉)科技有限公司
陈红波
;
董童威
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0
机构:
易安爱富(武汉)科技有限公司
易安爱富(武汉)科技有限公司
董童威
.
中国专利
:CN117888108A
,2024-04-16
[9]
一种柔性面板用钼铝钼及ITO兼容蚀刻液及其制备工艺
[P].
戈烨铭
论文数:
0
引用数:
0
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0
戈烨铭
.
中国专利
:CN109023371A
,2018-12-18
[10]
一种钼铝共用蚀刻液及蚀刻方法
[P].
鄢艳华
论文数:
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鄢艳华
;
康威
论文数:
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康威
.
中国专利
:CN109594079B
,2019-04-09
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