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用于基板的等离子体辅助处理的等离子体处理装置和方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200980115927.7
申请日：
2009-04-30
公开(公告)号：
CN102017057A
公开(公告)日：
2011-04-13
发明(设计)人：
U·克罗尔
B·莱格拉迪克
申请人：
申请人地址：
瑞士特吕巴赫
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
李娜;蒋骏
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-03-24 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01J 37/32 登记生效日:20200305 变更事项:专利权人 变更前权利人:东电电子太阳能股份公司 变更后权利人:瑞士艾发科技 变更事项:地址 变更前权利人:瑞士特吕巴赫 变更后权利人:瑞士特吕巴赫 |
| 2013-07-31 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101642623417 IPC(主分类):H01J 37/32 专利号:ZL2009801159277 变更事项:专利权人 变更前:欧瑞康太阳能股份公司(特吕巴赫) 变更后:东电电子太阳能股份公司 变更事项:地址 变更前:瑞士特吕巴赫 变更后:瑞士特吕巴赫 |
| 2011-04-13 | 公开 | 公开 |
| 2011-06-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101074688790 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2009801159277 申请日:20090430 |
| 2012-11-28 | 授权 | 授权 |