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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-12 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更事项:专利权人 变更前:广东启天自动化智能装备股份有限公司 变更后:广东启天自动化智能装备股份有限公司 变更事项:地址 变更前:523000 广东省东莞市樟木头镇樟洋社区富竹二街8号楼 变更后:523000 广东省东莞市樟木头镇赤布路1号2栋101室 |
| 2018-09-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20180330 |
| 2018-08-10 | 公开 | 公开 |
| 2022-03-11 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20180330 授权公告日:20190816 终止日期:20210330 |
| 2019-08-16 | 授权 | 授权 |