一种半导体晶舟沉积物清理装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202021022129.X
申请日
2020-06-06
公开(公告)号
CN213495359U
公开(公告)日
2021-06-22
发明(设计)人
王璐瑶
申请人
申请人地址
510000 广东省广州市黄埔区光谱西路69号TCL文化产业园科创楼101-102室(仅限办公)
IPC主分类号
B08B502
IPC分类号
B08B1300 H01L21673
代理机构
广州科捷知识产权代理事务所(普通合伙) 44560
代理人
袁嘉恩
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种蒸发舟用沉积物清理装置 [P]. 
田承兵 .
中国专利 :CN213161996U ,2021-05-11
[2]
一种沉积物清理装置 [P]. 
许湃 ;
陈东升 .
中国专利 :CN221109257U ,2024-06-11
[3]
一种沉积物清理装置 [P]. 
李林鑫 ;
杜泽伟 ;
陈杨 ;
季明 .
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[4]
池底沉积物清理装置 [P]. 
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邹仁环 ;
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姜晓华 ;
廖雪 ;
李卿 ;
刘振川 ;
王冲 ;
史少杰 .
中国专利 :CN213103648U ,2021-05-04
[5]
一种静止水体沉积物清理装置 [P]. 
张保祥 ;
刘健 ;
郑强 ;
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李佳宁 ;
林琳 ;
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[6]
水池沉积物自动清理装置 [P]. 
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[7]
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[8]
一种半导体晶圆石英舟 [P]. 
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[9]
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刘晓迪 ;
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陈明珍 ;
覃春艳 ;
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[10]
一种蒸馏塔沉积物清理装置 [P]. 
于欣 ;
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董月 ;
高霞 .
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