一种静电卡盘短距离运输装置

被引:0
申请号
CN202220620478.4
申请日
2022-03-21
公开(公告)号
CN218198346U
公开(公告)日
2023-01-03
发明(设计)人
陈茂雄 李君 石锗元 肖伟
申请人
申请人地址
314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区隆兴路118号1514室
IPC主分类号
B62B302
IPC分类号
B62B304 B62B500
代理机构
北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058
代理人
张娴
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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