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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-05-17 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20120428 授权公告日:20130130 |
| 2018-04-17 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/455 变更事项:专利权人 变更前:北京七星华创电子股份有限公司 变更后:北方华创科技集团股份有限公司 变更事项:地址 变更前:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层 变更后:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 |
| 2013-01-30 | 授权 | 授权 |
| 2018-04-17 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/455 登记生效日:20180328 变更事项:专利权人 变更前权利人:北方华创科技集团股份有限公司 变更后权利人:北京北方华创微电子装备有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 变更后权利人:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 |