磁控管阴极用钼组件的制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN200610061507.3
申请日
2006-06-30
公开(公告)号
CN101097825A
公开(公告)日
2008-01-02
发明(设计)人
顾进跃 袁克艳 杨贺良
申请人
申请人地址
518048广东省深圳市福田区新洲南路先龙大厦三楼B区
IPC主分类号
H01J902
IPC分类号
H01J900
代理机构
深圳市港湾知识产权代理有限公司
代理人
胡亚宏
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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