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一种防堵塞型集成电路制作设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010966732.1
申请日：
2020-09-15
公开(公告)号：
CN112086395A
公开(公告)日：
2020-12-15
发明(设计)人：
平克宇
申请人：
申请人地址：
211100 江苏省南京市江宁区汤山街道工业集中区上峰片区
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
B08B100
B08B104
B08B500
代理机构：
代理人：
法律状态：
发明专利申请公布后的撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-23 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L 21/683 申请公布日:20201215 |
| 2020-12-15 | 公开 | 公开 |