一种晶圆抛光设备

被引：0

申请号：

CN202221345784.8

申请日：

2022-05-31

公开(公告)号：

CN217434008U

公开(公告)日：

2022-09-16

发明(设计)人：

张陈军陈福文张焜鸣

申请人：

申请人地址：

221700 江苏省徐州市丰县经济开发区智能终端产业园二期B1

IPC主分类号：

B24B2902

IPC分类号：

B24B4106 B24B4100 B24B4712 B24B4722

代理机构：

南京聚匠知识产权代理有限公司 32339

代理人：

沈菊

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆抛光设备 [P].

徐慧文 ;

邵强 ;

张德 ;

潘尧波 .

中国专利 :CN216327530U ,2022-04-19

[2]

晶圆抛光设备 [P].

时岱 ;

吴楠 ;

杨军 ;

包斌 .

中国专利 :CN215547738U ,2022-01-18

[3]

晶圆抛光设备 [P].

汪海亮 ;

刘路 .

中国专利 :CN221936399U ,2024-11-01

[4]

晶圆抛光设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221640511U ,2024-09-03

[5]

晶圆抛光设备 [P].

孟晓云 ;

周庆亚 ;

张晓阳 ;

贾若雨 ;

白琨 ;

李嘉浪 ;

吴燕林 .

中国专利 :CN222537291U ,2025-02-28

[6]

一种基于晶圆的抛光头和晶圆抛光设备 [P].

周大伟 ;

金亮 ;

金孟豪 ;

张峰 ;

姜建民 ;

盛湘远 .

中国专利 :CN223084505U ,2025-07-11

[7]

一种玻璃晶圆抛光设备 [P].

万峰 .

中国专利 :CN214054858U ,2021-08-27

[8]

一种晶圆边缘抛光设备 [P].

闫丽 .

中国专利 :CN221871412U ,2024-10-22

[9]

一种超薄石英玻璃晶圆抛光设备 [P].

欧阳志刚 ;

陈存华 .

中国专利 :CN222661223U ,2025-03-25

[10]

一种晶圆抛光设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN118721009A ,2024-10-01

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