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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-02-05 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101689534819 IPC(主分类):G01D 5/14 专利号:ZL2009102020418 变更事项:专利权人 变更前权利人:上海华虹NEC电子有限公司 变更后权利人:上海华虹宏力半导体制造有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201206 上海市浦东新区川桥路1188号 变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 登记生效日:20140108 |
| 2011-06-29 | 公开 | 公开 |
| 2011-08-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101096109481 IPC(主分类):G01D 5/14 专利申请号:2009102020418 申请日:20091224 |
| 2012-07-11 | 授权 | 授权 |