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探针误差检测装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811533184.2
申请日：
2018-12-14
公开(公告)号：
CN109557438A
公开(公告)日：
2019-04-02
发明(设计)人：
闫晓刚
刘立波
刘晓飞
申请人：
申请人地址：
100192 北京市海淀区永泰庄北路1号中关村东升国际创业园（天地邻枫）2号楼D单元2层
IPC主分类号：
G01R3112
IPC分类号：
G01R3102
G01R1067
代理机构：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258
代理人：
娜拉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-04-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/12 申请日:20181214 |
| 2019-04-02 | 公开 | 公开 |