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光刻机
被引：0
专利类型：
外观设计
申请号：
CN200730082420.X
申请日：
2007-11-07
公开(公告)号：
CN300887148D
公开(公告)日：
2009-02-25
发明(设计)人：
赵辉
申请人：
申请人地址：
201203上海市张江高科技园区张东路1525号
IPC主分类号：
1509
IPC分类号：
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所
代理人：
屈 蘅;李时云
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2009-02-25 | 授权 | 授权 |
| 2017-12-26 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 主分类号:15-09 申请日:20071107 授权公告日:20090225 |