薄膜吸附设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310364415.2

申请日：

2013-08-20

公开(公告)号：

CN104425326A

公开(公告)日：

2015-03-18

发明(设计)人：

翁思渊蔡馥禧

申请人：

申请人地址：

中国台湾桃园县龟山乡华亚科技园区华亚一路66号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101605753023 IPC(主分类):H01L 21/673 专利申请号:2013103644152 申请日:20130820
2015-03-18	公开	公开
2017-06-09	授权	授权

共 50 条

[1]

吸附设备 [P].

黄红伍 ;

王广新 ;

赵学军 ;

逯正旺 .

中国专利 :CN206277173U ,2017-06-27

[2]

吸附设备 [P].

赵厚发 ;

徐宾朋 ;

郭庆 .

中国专利 :CN203893506U ,2014-10-22

[3]

吸附设备 [P].

姜春权 .

韩国专利 :CN117581405A ,2024-02-20

[4]

吸附设备 [P].

王惠生 .

中国专利 :CN201006391Y ,2008-01-16

[5]

吸附设备 [P].

王惠生 .

中国专利 :CN101073738A ,2007-11-21

[6]

吸附设备 [P].

李·马罗塔 ;

迈尔斯·斯诺 .

中国专利 :CN202655038U ,2013-01-09

[7]

吸附设备 [P].

赵雪源 ;

卢洪杰 ;

史东军 ;

陈敏 ;

潘涛 ;

郭行 .

中国专利 :CN210786765U ,2020-06-19

[8]

吸附设备 [P].

陈步东 ;

王彬飞 ;

吴立祥 ;

吴启军 .

中国专利 :CN217473094U ,2022-09-23

[9]

吸附设备和制造吸附设备的方法 [P].

吉武朋彦 .

日本专利 :CN118843508A ,2024-10-25

[10]

组装吸附设备 [P].

景余祥 ;

吴士春 ;

李福银 ;

曹达敏 .

中国专利 :CN222986138U ,2025-06-17

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