一种纳米尺度孪晶铜薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710037907.5

申请日：

2007-03-08

公开(公告)号：

CN100503880C

公开(公告)日：

2007-08-15

发明(设计)人：

谢琦蒋玉龙屈新萍茹国平李炳宗

申请人：

申请人地址：

200433上海市邯郸路220号

IPC主分类号：

C23C1406

IPC分类号：

C23C1418 C23C1458 C22F108

代理机构：

上海正旦专利代理有限公司

代理人：

陆飞;盛志范

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101446753072 IPC(主分类):C23C 14/06 专利号:ZL2007100379075 申请日:20070308 授权公告日:20090624 终止日期:20120308
2007-08-15	公开	公开
2008-01-09	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-06-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种全纳米孪晶组织结构的铜薄膜材料的制备方法 [P].

刘志权 ;

高丽茵 ;

孙蓉 .

中国专利 :CN110724981B ,2020-01-24

[2]

一种纳米孪晶铜薄膜材料及其制备方法和用途 [P].

刘志权 ;

李哲 ;

黄静 ;

高丽茵 ;

孙蓉 .

中国专利 :CN112779572B ,2021-05-11

[3]

一种纳米尺度缝隙的制备方法 [P].

王紫东 ;

彭沛 ;

田仲政 ;

宋建宏 ;

任黎明 ;

傅云义 .

中国专利 :CN106904571B ,2017-06-30

[4]

一种纳米尺度多元合金的制备方法 [P].

赵盘巢 ;

操齐高 ;

张卜升 ;

戎万 ;

陈昆昆 .

中国专利 :CN111545767B ,2020-08-18

[5]

一种纳米尺度EUV掩模的制备方法 [P].

刘宇 ;

刘明 ;

谢常青 ;

龙世兵 ;

胡媛 ;

张凯平 ;

赵盛杰 .

中国专利 :CN103605260A ,2014-02-26

[6]

纳米尺度金属颗粒的制备 [P].

R·A·默库里 .

中国专利 :CN101300096A ,2008-11-05

[7]

一种微米/纳米尺度BiOCl薄膜材料及其制备方法 [P].

曹四海 ;

郭传飞 ;

刘前 .

中国专利 :CN101724839A ,2010-06-09

[8]

一种制备纳米尺度氧化硅沟槽的方法 [P].

赵华波 ;

张朝晖 ;

傅云义 ;

张岩 ;

李彦 ;

严峰 ;

应轶群 .

中国专利 :CN101780943A ,2010-07-21

[9]

一种纳米孪晶铜箔及其制备方法 [P].

卢磊 ;

程钊 ;

金帅 .

中国专利 :CN113621998A ,2021-11-09

[10]

一种纳米尺度通道的制造方法 [P].

殷志富 ;

杨雪 ;

李露 ;

胡伟 ;

贾炳强 .

中国专利 :CN113070111A ,2021-07-06

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