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晶圆收纳盒及晶圆组件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010625188.4
申请日：
2020-06-30
公开(公告)号：
CN111710636A
公开(公告)日：
2020-09-25
发明(设计)人：
王宏建
赵卫
朱建海
沈旋
何自坚
申漫漫
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L2906
代理机构：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463
代理人：
唐菲
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20200630 |
| 2021-10-26 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/673 登记生效日:20211013 变更事项:申请人 变更前权利人:松山湖材料实验室 变更后权利人:松山湖材料实验室 变更事项:地址 变更前权利人:523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋 变更后权利人:523830 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋 变更事项:申请人 变更后权利人:中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 2020-09-25 | 公开 | 公开 |