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一种激光扫描振镜装置及扫描镜的摆动方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910251277.4
申请日：
2019-03-29
公开(公告)号：
CN109814254A
公开(公告)日：
2019-05-28
发明(设计)人：
不公告发明人
申请人：
申请人地址：
100085 北京市海淀区上地十街1号院4号楼1915
IPC主分类号：
G02B2610
IPC分类号：
代理机构：
北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577
代理人：
丁彦峰;贺亚明
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-05-28 | 公开 | 公开 |
| 2019-06-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 26/10 申请日:20190329 |