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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-01-29 | 授权 | 授权 |
| 2012-02-29 | 公开 | 公开 |
| 2012-04-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101222311795 IPC(主分类):C23C 18/12 专利申请号:201080013499X 申请日:20100301 |
| 2014-12-03 | 发明专利更正 | 发明专利更正 卷:30 号:05 页码:说明书 申请号:201080013499X 更正项目:权利要求书 误:错误 正:正确 |