气体反应连续腔及气体反应方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310249985.7

申请日：

2013-06-20

公开(公告)号：

CN104233213A

公开(公告)日：

2014-12-24

发明(设计)人：

曾昭隆廖科峰邱文鼎赵子铭黄世壬汪宇炎黎胜何文福

申请人：

申请人地址：

315000 浙江省宁波市镇海区环城北路56号

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

代理机构：

广东国欣律师事务所 44221

代理人：

李文

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/56 申请公布日:20141224
2014-12-24	公开	公开
2015-12-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101639518840 IPC(主分类):C23C 14/56 专利申请号:2013102499857 申请日:20130620

共 50 条

[1]

气体反应连续腔 [P].

曾昭隆 ;

廖科峰 ;

邱文鼎 ;

赵子铭 ;

黄世壬 ;

汪宇炎 ;

黎胜 ;

何文福 .

中国专利 :CN203333756U ,2013-12-11

[2]

气体喷嘴、气体反应设备及气体水解反应方法 [P].

段先健 ;

王跃林 ;

王成刚 ;

吴春蕾 .

中国专利 :CN110354795B ,2019-10-22

[3]

气体反应系统 [P].

王昊 .

中国专利 :CN118718889A ,2024-10-01

[4]

气体喷淋头以及气相沉积反应腔 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN103320770A ,2013-09-25

[5]

气体原料供给模块及气体反应设备 [P].

于阳 ;

陈程 ;

段宗福 ;

曹卫锋 ;

马汝建 ;

彭宣嘉 .

中国专利 :CN119656983A ,2025-03-21

[6]

气体反应系统 [P].

刘安利 ;

施斌 ;

潘爱庶 ;

朱建忠 ;

胡大才 ;

姚海洋 ;

万敏 ;

高鑫源 .

中国专利 :CN210646316U ,2020-06-02

[7]

气体反应装置 [P].

李殷廷 ;

李河圣 ;

崔钟武 ;

金成基 .

中国专利 :CN111334774A ,2020-06-26

[8]

反应气体的急冷系统及反应气体的急冷方法 [P].

王勇 ;

高文刚 ;

赵良 ;

郭伟 ;

苟荣恒 ;

何源 ;

刘义 ;

何海科 ;

吴国祥 ;

李国锋 ;

关丰中 .

中国专利 :CN105148673A ,2015-12-16

[9]

一种控制反应气体进入真空反应腔的方法 [P].

周旭升 .

中国专利 :CN110137069B ,2019-08-16

[10]

用于反应气体炮的点火装置及反应气体炮 [P].

薛一江 .

中国专利 :CN115127114A ,2022-09-30

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