石英晶体镀膜厚度控制方法及石英晶体镀膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310393182.9

申请日：

2013-08-31

公开(公告)号：

CN103469172A

公开(公告)日：

2013-12-25

发明(设计)人：

张子业汤兆胜

申请人：

申请人地址：

201612 上海市松江区漕河泾开发区新经济园民益路201号12幢402-241室

IPC主分类号：

C23C1454

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

上海脱颖律师事务所 31259

代理人：

李强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-05	授权	授权
2014-01-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101564928851 IPC(主分类):C23C 14/54 专利申请号:2013103931829 申请日:20130831
2013-12-25	公开	公开

共 50 条

[1]

石英晶体镀膜电极设计方法 [P].

梁生元 ;

李冬强 ;

王岩 .

中国专利 :CN100435483C ,2006-09-13

[2]

石英晶体镀膜夹具清洗提篮 [P].

李锦雄 ;

朱永安 ;

胡胜楠 ;

周应平 .

中国专利 :CN221951904U ,2024-11-05

[3]

一种石英晶体谐振器镀膜装置 [P].

张殿平 .

中国专利 :CN223276530U ,2025-08-29

[4]

一种石英晶体镀膜夹具 [P].

付险峰 ;

刘鑫贵 .

中国专利 :CN201722423U ,2011-01-26

[5]

晶体生长的石英坩埚镀膜装置 [P].

朱旦 ;

陈治华 ;

黄永辉 ;

陈应江 .

中国专利 :CN220468130U ,2024-02-09

[6]

石英晶体真空镀膜自动输送装置 [P].

崔应文 .

中国专利 :CN108330463A ,2018-07-27

[7]

石英晶体厚度检测装置 [P].

刘玉栋 ;

巩向辉 ;

田峻瑜 ;

方华斌 .

中国专利 :CN113280725A ,2021-08-20

[8]

石英晶体片镀膜用蜂巢式夹具底框 [P].

詹保全 .

中国专利 :CN206199559U ,2017-05-31

[9]

石英晶体真空镀膜快速装夹装置 [P].

崔应文 .

中国专利 :CN108262702A ,2018-07-10

[10]

一种石英晶体真空镀膜装置 [P].

廖建伟 ;

王立晖 ;

吕锡昌 .

中国专利 :CN214168117U ,2021-09-10

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