狭缝喷嘴的横向喷射均匀度测量装置及方法

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专利类型
发明
申请号
CN200710107441.1
申请日
2007-05-11
公开(公告)号
CN101078882B
公开(公告)日
2007-11-28
发明(设计)人
赵康一
申请人
申请人地址
韩国京畿道安城市
IPC主分类号
G03F716
IPC分类号
G02F11333
代理机构
北京铭硕知识产权代理有限公司 11286
代理人
韩明星;刘奕晴
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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