氮化硅微晶板及其生产工艺

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申请号
CN202210596507.2
申请日
2022-05-30
公开(公告)号
CN115368143A
公开(公告)日
2022-11-22
发明(设计)人
徐德军 沈韦 吴明
申请人
申请人地址
214200 江苏省无锡市宜兴市宜城街道天氿御城65栋149号102
IPC主分类号
C04B35584
IPC分类号
C04B35622
代理机构
代理人
法律状态
公开
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共 50 条
[1]
氮化硅球用母核及其生产工艺 [P]. 
李博 ;
边志明 ;
王允强 .
中国专利 :CN108623308A ,2018-10-09
[2]
制作氮化硅陶瓷微珠的生产工艺 [P]. 
于利学 ;
李正闯 ;
于娜 ;
倪赫隆 .
中国专利 :CN106747473B ,2017-05-31
[3]
高纯度氮化硅粉体生产工艺 [P]. 
王占营 ;
刘宗才 ;
王占军 ;
付随州 ;
王兵 ;
王帅印 ;
王亚辉 ;
王志永 .
中国专利 :CN107857241A ,2018-03-30
[4]
一种高导热抗压的氮化硅基板及其生产工艺 [P]. 
刘宗才 ;
许建文 ;
裴晨艺 ;
许轶雯 .
中国专利 :CN113388232B ,2021-09-14
[5]
一种氮化硅生产工艺及设备 [P]. 
林敦莺 .
中国专利 :CN115650183A ,2023-01-31
[6]
稀土钇镧复合氮化硅陶瓷生产工艺 [P]. 
丁勤 ;
杨婷 .
中国专利 :CN102775150A ,2012-11-14
[7]
氮化硅陶瓷细长工件的生产工艺技术 [P]. 
鹿宁 .
中国专利 :CN1907913A ,2007-02-07
[8]
多孔氮化硅陶瓷及其生产方法 [P]. 
宫永伦正 ;
小村修 .
中国专利 :CN1473140A ,2004-02-04
[9]
氮化硅钒合金及其生产方法 [P]. 
谭国臣 ;
张光德 ;
于成智 .
中国专利 :CN103667847A ,2014-03-26
[10]
氮化硅钒铁及其生产方法 [P]. 
王安仁 ;
卢世国 ;
张来顺 .
中国专利 :CN102041422A ,2011-05-04