共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2009-11-18 | 授权 | 授权 |
| 2008-03-12 | 公开 | 公开 |
| 2022-08-12 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):G01J 5/10 登记生效日:20220729 变更事项:专利权人 变更前权利人:昆山光微电子有限公司 变更后权利人:中国科学院微电子研究所 变更事项:地址 变更前权利人:215300 江苏省昆山市周庄镇大桥路145号 变更后权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |
| 2008-05-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |