单芯片三轴各向异性磁阻传感器制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201510567197.1
申请日
2015-09-08
公开(公告)号
CN105261699A
公开(公告)日
2016-01-20
发明(设计)人
陈雪平 闻永祥 刘琛 孙福河
申请人
申请人地址
310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区10号大街(东)308号
IPC主分类号
H01L4308
IPC分类号
H01L4312 H01L2722
代理机构
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人
余毅勤
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
单芯片三轴各向异性磁阻传感器 [P]. 
陈雪平 ;
闻永祥 ;
刘琛 ;
孙福河 .
中国专利 :CN204964732U ,2016-01-13
[2]
单芯片三轴各向异性磁阻传感器 [P]. 
闻永祥 ;
范伟宏 ;
王平 ;
刘琛 ;
季锋 ;
邹光祎 .
中国专利 :CN203932117U ,2014-11-05
[3]
单芯片三轴各向异性磁阻传感器及其制造方法 [P]. 
闻永祥 ;
范伟宏 ;
王平 ;
刘琛 ;
季锋 ;
邹光祎 .
中国专利 :CN104051612A ,2014-09-17
[4]
各向异性磁阻传感器垂直结构 [P]. 
闻永祥 ;
季锋 ;
刘琛 ;
饶晓俊 .
中国专利 :CN203617345U ,2014-05-28
[5]
双轴各向异性磁阻传感器 [P]. 
J·库比克 .
中国专利 :CN103959080B ,2014-07-30
[6]
各向异性磁阻传感器垂直结构及其制造方法 [P]. 
闻永祥 ;
季锋 ;
刘琛 ;
饶晓俊 .
中国专利 :CN103647022B ,2014-03-19
[7]
各向异性磁阻传感器的形成方法 [P]. 
张振兴 .
中国专利 :CN118555900A ,2024-08-27
[8]
各向异性磁阻(AMR)角度传感器 [P]. 
D·W·李 ;
E·L·马佐蒂 ;
W·D·弗兰茨 .
中国专利 :CN110914697B ,2020-03-24
[9]
一种各向异性磁阻传感器测试系统 [P]. 
杨光帅 ;
张文伟 ;
宋秋明 ;
田金鹏 ;
贾原 ;
欧阳夏 ;
张智星 ;
郑国梁 .
中国专利 :CN217981796U ,2022-12-06
[10]
一种高性能的各向异性磁阻传感器集成芯片 [P]. 
廖红伟 ;
张宁 ;
张冬青 ;
皮强强 .
中国专利 :CN204515105U ,2015-07-29