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一种真空镀膜工件盘翻转装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022727092.7
申请日：
2020-11-23
公开(公告)号：
CN214115710U
公开(公告)日：
2021-09-03
发明(设计)人：
任海宾
党亚军
马文鹏
申请人：
申请人地址：
473000 河南省南阳市北京路1218号
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
C23C16458
代理机构：
北京隆达恒晟知识产权代理有限公司 11899
代理人：
时移
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-03 | 授权 | 授权 |