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一种硅片花篮缓存装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120533245.6
申请日：
2021-03-15
公开(公告)号：
CN214254380U
公开(公告)日：
2021-09-21
发明(设计)人：
刘祖利
叶凌云
申请人：
申请人地址：
322118 浙江省金华市东阳市横店镇工业区
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
胡彬
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-21 | 授权 | 授权 |