一种碱性的阻挡层化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201511029747.0

申请日：

2015-12-31

公开(公告)号：

CN106928861A

公开(公告)日：

2017-07-07

发明(设计)人：

何华锋王晨李星

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6-9幢底层

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

代理机构：

北京大成律师事务所 11352

代理人：

李佳铭

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-07	公开	公开
2017-12-29	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C09G 1/02 变更事项:申请人变更前:安集微电子科技（上海）有限公司变更后:安集微电子科技（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6-9幢底层变更后:201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6-9幢底层
2019-07-19	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C09G 1/02 申请公布日:20170707

共 50 条

[1]

一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液 [P].

潘依君 ;

荆建芬 ;

姚颖 ;

杜玲曦 ;

杨俊雅 ;

张建 ;

蔡鑫元 ;

宋凯 ;

王雨春 .

中国专利 :CN108250977B ,2018-07-06

[2]

一种碱性阻挡层化学机械抛光液 [P].

王晨 ;

周文婷 ;

何华锋 ;

高嫄 .

中国专利 :CN104371551A ,2015-02-25

[3]

一种阻挡层化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

宋伟红 .

中国专利 :CN101463225A ,2009-06-24

[4]

一种用于钴阻挡层抛光的化学机械抛光液 [P].

张建 ;

荆建芬 ;

蔡鑫元 ;

宋凯 ;

邱腾飞 .

中国专利 :CN104745085A ,2015-07-01

[5]

一种碱性化学机械抛光液 [P].

王晨 ;

何华锋 .

中国专利 :CN103773244B ,2014-05-07

[6]

一种碱性化学机械抛光液 [P].

王晨 ;

何华锋 .

中国专利 :CN103773245A ,2014-05-07

[7]

一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

潘依君 ;

荆建芬 ;

杜玲曦 ;

蔡鑫元 ;

宋凯 ;

杨俊雅 ;

张建 ;

王春梅 ;

王雨春 .

中国专利 :CN108250973A ,2018-07-06

[8]

一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

荆建芬 ;

蔡鑫元 ;

邱腾飞 ;

宋凯 .

中国专利 :CN106928858A ,2017-07-07

[9]

一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液 [P].

高嫄 ;

荆建芬 ;

潘依君 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN107686702A ,2018-02-13

[10]

一种用于阻挡层抛光的化学机械抛光液 [P].

宋伟红 ;

姚颖 ;

陈国栋 ;

包建鑫 .

中国专利 :CN101463227A ,2009-06-24

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