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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-11-23 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101136910209 IPC(主分类):H01L 21/70 专利号:ZL971184097 申请日:19970904 授权公告日:20001011 终止日期:20100904 |
| 1998-02-18 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 1998-06-10 | 公开 | 公开 |
| 2000-10-11 | 授权 | 授权 |