碳化硅晶片以及碳化硅晶片的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010530643.2
申请日
2020-06-11
公开(公告)号
CN112746324A
公开(公告)日
2021-05-04
发明(设计)人
朴钟辉 甄明玉 沈钟珉 张炳圭 崔正宇 高上基 具甲烈 金政圭
申请人
申请人地址
韩国京畿道
IPC主分类号
C30B2936
IPC分类号
C30B2300
代理机构
成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258
代理人
魏彦
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
碳化硅晶片以及碳化硅晶片的制备方法 [P]. 
朴钟辉 ;
甄明玉 ;
沈钟珉 ;
张炳圭 ;
崔正宇 ;
高上基 ;
具甲烈 ;
金政圭 .
韩国专利 :CN112746324B ,2024-04-30
[2]
碳化硅晶片、碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制备方法 [P]. 
朴钟辉 ;
沈钟珉 ;
梁殷寿 ;
李演湜 ;
张炳圭 ;
崔正宇 ;
高上基 ;
具甲烈 ;
金政圭 .
中国专利 :CN112746317A ,2021-05-04
[3]
碳化硅晶片、碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制备方法 [P]. 
朴钟辉 ;
沈钟珉 ;
梁殷寿 ;
李演湜 ;
张炳圭 ;
崔正宇 ;
高上基 ;
具甲烈 ;
金政圭 .
韩国专利 :CN112746317B ,2024-05-31
[4]
碳化硅晶锭、碳化硅晶片、碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制造方法 [P]. 
堂本千秋 ;
正木克明 ;
柴田和也 ;
山口恵彥 ;
上山大辅 .
中国专利 :CN105940149A ,2016-09-14
[5]
碳化硅晶片以及使用了该碳化硅晶片的碳化硅半导体装置 [P]. 
上东秀幸 .
日本专利 :CN118263285A ,2024-06-28
[6]
碳化硅晶体及碳化硅晶片 [P]. 
林钦山 .
中国专利 :CN117364247A ,2024-01-09
[7]
碳化硅衬底、碳化硅晶片、碳化硅半导体装置 [P]. 
上东秀幸 .
日本专利 :CN118374882A ,2024-07-23
[8]
碳化硅晶片的制造方法、碳化硅晶片和制造晶片的系统 [P]. 
金政圭 ;
具甲烈 ;
徐正斗 ;
崔正宇 ;
朴钟辉 .
韩国专利 :CN114762995B ,2024-04-26
[9]
碳化硅晶片的制造方法、碳化硅晶片和制造晶片的系统 [P]. 
金政圭 ;
具甲烈 ;
徐正斗 ;
崔正宇 ;
朴钟辉 .
中国专利 :CN114762995A ,2022-07-19
[10]
碳化硅晶片的制备方法 [P]. 
戴长虹 ;
张宝宝 ;
孟永强 .
中国专利 :CN1831213A ,2006-09-13