PECVD炉温控制系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120492637.9

申请日：

2011-12-01

公开(公告)号：

CN202380089U

公开(公告)日：

2012-08-15

发明(设计)人：

欧阳泉朗文科

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区沙井街道蚝四林坡坑工业区A4号、A6号厂房

IPC主分类号：

C23C1652

IPC分类号：

代理机构：

深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247

代理人：

胡朝阳;孙洁敏

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-17	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 16/52 申请日:20111201 授权公告日:20120815
2012-08-15	授权	授权

共 50 条

[1]

炉温控制系统 [P].

熊鹰 .

中国专利 :CN203657523U ,2014-06-18

[2]

基于PLC的炉温控制系统 [P].

聂振华 ;

肖婷丽 ;

舒炼 .

中国专利 :CN203894656U ,2014-10-22

[3]

一种炉温控制系统 [P].

乔菊梅 .

中国专利 :CN104422299A ,2015-03-18

[4]

一种炉温控制系统 [P].

陈国怡 ;

陈逸珩 .

中国专利 :CN207471823U ,2018-06-08

[5]

一种热处理炉温控制系统 [P].

林正华 .

中国专利 :CN201605304U ,2010-10-13

[6]

焦化炉炉温控制系统 [P].

王学波 ;

张超 ;

倪学功 ;

吴奎 .

中国专利 :CN105131981A ,2015-12-09

[7]

一种智能炉温控制系统 [P].

张沫 ;

刘志强 ;

薛鑫 .

中国专利 :CN206052105U ,2017-03-29

[8]

一种等温正火炉炉温控制系统 [P].

张英建 .

中国专利 :CN207294848U ,2018-05-01

[9]

一种炉温控制系统 [P].

杨平 .

中国专利 :CN211552498U ,2020-09-22

[10]

电阻炉炉温控制系统 [P].

贾卫东 ;

魏军锋 .

中国专利 :CN104215086A ,2014-12-17

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