一种高效涂层石英坩埚的制作方法

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专利类型
发明
申请号
CN201610040228.2
申请日
2016-01-21
公开(公告)号
CN106986553A
公开(公告)日
2017-07-28
发明(设计)人
周勇 李卫 川上泉 寺西久広 占克文
申请人
申请人地址
311222 浙江省杭州市滨江区江东工业园区青六北路668号
IPC主分类号
C03C1723
IPC分类号
代理机构
杭州杭诚专利事务所有限公司 33109
代理人
尉伟敏;赵越剑
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种超高纯涂层石英坩埚的制作方法 [P]. 
周勇 ;
李卫 ;
川上泉 ;
寺西久広 ;
占克文 .
中国专利 :CN106986554B ,2017-07-28
[2]
石英坩埚及其制作方法、P型硅铸锭及其制作方法 [P]. 
潘家明 .
中国专利 :CN103274583A ,2013-09-04
[3]
一种多晶硅铸锭石英坩埚的涂层制作方法 [P]. 
冷金标 ;
龙昭钦 ;
周成 ;
谭水根 ;
周慧敏 ;
徐志群 .
中国专利 :CN108455874A ,2018-08-28
[4]
一种石英坩埚及其制作方法 [P]. 
方志远 ;
周勇 ;
吴伟华 .
中国专利 :CN114481299A ,2022-05-13
[5]
一种熔铝石英坩埚的制作方法 [P]. 
杜建中 .
中国专利 :CN102351407B ,2012-02-15
[6]
局部涂层石英坩埚及其制作方法 [P]. 
王建军 ;
李常国 ;
邓红 ;
何玉鹏 .
中国专利 :CN110670121B ,2024-04-12
[7]
局部涂层石英坩埚及其制作方法 [P]. 
王建军 ;
李常国 ;
邓红 ;
何玉鹏 .
中国专利 :CN110670121A ,2020-01-10
[8]
一种多晶硅铸锭用石英坩埚的氮化硅涂层制作方法 [P]. 
冷金标 ;
龙昭钦 ;
周慧敏 ;
周成 ;
毛亮亮 ;
徐志群 .
中国专利 :CN107417301A ,2017-12-01
[9]
一种涂层坩埚的制作方法 [P]. 
申富强 ;
申富胜 .
中国专利 :CN108950685A ,2018-12-07
[10]
石英坩埚及其制作方法 [P]. 
党彦宝 ;
邹凯 ;
张德林 ;
周文东 ;
杜明 ;
田栋东 ;
李长营 .
中国专利 :CN118256987A ,2024-06-28