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一种扩晶机用切膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921558650.2
申请日：
2019-09-19
公开(公告)号：
CN210379107U
公开(公告)日：
2020-04-21
发明(设计)人：
梅宇峰
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市高新区金沙江路91号
IPC主分类号：
H01L3348
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
苏州通途佳捷专利代理事务所(普通合伙) 32367
代理人：
闵东
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-04-21 | 授权 | 授权 |