集成的旋转速率与加速度传感器和用于制造集成的旋转速率与加速度传感器的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480026952.9

申请日：

2014-05-05

公开(公告)号：

CN105408240A

公开(公告)日：

2016-03-16

发明(设计)人：

J·克拉森 J·赖因穆特 A·克尔布尔

申请人：

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

曾立

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101665111742 IPC(主分类):B81B 7/02 专利申请号:2014800269529 申请日:20140505
2016-03-16	公开	公开

共 50 条

[1]

加速度传感器和加速度传感器的制造方法 [P].

山口靖雄 .

中国专利 :CN100533152C ,2007-08-08

[2]

加速度传感器和加速度传感器的制造方法 [P].

山口靖雄 .

中国专利 :CN101008656A ,2007-08-01

[3]

加速度传感器和加速度传感器的制造方法 [P].

山口靖雄 .

中国专利 :CN101008655A ,2007-08-01

[4]

加速度传感器结构与加速度传感器 [P].

李诺伦 ;

庄瑞芬 ;

毛应林 ;

朱启发 .

中国专利 :CN117647662B ,2024-04-05

[5]

加速度传感器结构与加速度传感器 [P].

李诺伦 ;

庄瑞芬 ;

毛应林 ;

朱启发 .

中国专利 :CN117647662A ,2024-03-05

[6]

加速度传感器结构与加速度传感器 [P].

李诺伦 ;

庄瑞芬 ;

杨进 ;

朱启发 .

中国专利 :CN222105499U ,2024-12-03

[7]

加速度传感器和加速度传感器的制造方法 [P].

山口靖雄 .

中国专利 :CN1627083A ,2005-06-15

[8]

微加速度与微角速率集成传感器制造方法 [P].

吕树海 ;

杨拥军 ;

徐淑静 ;

徐爱东 ;

张旭辉 .

中国专利 :CN101509933B ,2009-08-19

[9]

微加速度与微角速率单片集成传感器 [P].

杨拥军 ;

吕树海 ;

徐淑静 ;

徐爱东 ;

张旭辉 .

中国专利 :CN101509934A ,2009-08-19

[10]

微加速度与微角速率单片集成传感器 [P].

杨拥军 ;

吕树海 ;

徐淑静 ;

徐爱东 ;

张旭辉 .

中国专利 :CN201373883Y ,2009-12-30

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