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一种半导体生产加工用测试工装
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111062323.X
申请日：
2021-09-10
公开(公告)号：
CN113504450A
公开(公告)日：
2021-10-15
发明(设计)人：
秦小军
申请人：
申请人地址：
226000 江苏省南通市开发区常兴东路1号40号厂房
IPC主分类号：
G01R3126
IPC分类号：
G01R102
G01R104
代理机构：
南京中高专利代理有限公司 32333
代理人：
袁兴隆
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-15 | 公开 | 公开 |
| 2021-11-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/26 申请日:20210910 |
| 2021-11-19 | 授权 | 授权 |