钼铌合金靶材的生产工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310010396.3

申请日：

2013-01-11

公开(公告)号：

CN103060762A

公开(公告)日：

2013-04-24

发明(设计)人：

吴文斌

申请人：

申请人地址：

330800 江西省宜春市高安市工业园

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B22F904 C22C104 B22F314

代理机构：

江西省专利事务所 36100

代理人：

李卫东

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-23	授权	授权
2015-12-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101636881461 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2013100103963 申请日:20130111
2013-04-24	公开	公开

共 50 条

[1]

钼铌合金板靶材加工工艺 [P].

陈玉柱 .

中国专利 :CN102560383B ,2012-07-11

[2]

磷化铌靶材的生产工艺 [P].

舒小敏 ;

吴文斌 .

中国专利 :CN113979749A ,2022-01-28

[3]

一种低氧钼铌合金靶材的生产方法 [P].

陈兴友 .

中国专利 :CN110421158A ,2019-11-08

[4]

钼铌10靶材的制备方法 [P].

蒋忠于 ;

杜向杰 .

中国专利 :CN103556121A ,2014-02-05

[5]

钼铌合金烧结坯及其制备方法、钼铌合金靶材和应用 [P].

魏修宇 ;

易小明 ;

王俊凯 ;

赵腾飞 ;

宋立强 ;

吕磊 .

中国专利 :CN118951014B ,2025-02-07

[6]

钼铌合金烧结坯及其制备方法、钼铌合金靶材和应用 [P].

魏修宇 ;

易小明 ;

王俊凯 ;

赵腾飞 ;

宋立强 ;

吕磊 .

中国专利 :CN118951014A ,2024-11-15

[7]

一种低氧钼铌合金靶材生产线及其工艺流程 [P].

陈占洋 ;

陈兴友 .

中国专利 :CN114799163A ,2022-07-29

[8]

一种钼铌合金溅射靶材的制备工艺 [P].

孙虎民 ;

赵文普 ;

陈亚光 ;

高建杰 .

中国专利 :CN105887027A ,2016-08-24

[9]

靶材用钼铌合金板的制备方法 [P].

杨国启 ;

扈百直 ;

孙本双 ;

王东新 ;

钟景明 ;

李彬 ;

李海军 ;

吴红 ;

罗丹 ;

刘创红 ;

刘兆刚 ;

李军义 ;

岳坤 ;

郑金凤 ;

孙磊 .

中国专利 :CN103146974A ,2013-06-12

[10]

高密度钼铌合金靶材的制备装置 [P].

黄平 ;

刘黔蜀 ;

吴恩辉 ;

李军 ;

侯静 ;

王革 .

中国专利 :CN209379918U ,2019-09-13

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