共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种基于空腔的反射型振动传感器的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111171485.7
申请日：
2021-10-08
公开(公告)号：
CN113916350A
公开(公告)日：
2022-01-11
发明(设计)人：
杨丹
刘洋
申请人：
申请人地址：
710000 陕西省西安市西咸新区沣西新城西部云谷2号楼蒜泥空间B-051号
IPC主分类号：
G01H900
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-11 | 公开 | 公开 |
| 2022-01-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01H 9/00 申请日:20211008 |
| 2023-01-20 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):G01H 9/00 申请公布日:20220111 |