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垂直腔面发射激光器湿法氧化方法及垂直腔面发射激光器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111174429.9
申请日：
2021-10-09
公开(公告)号：
CN113904215A
公开(公告)日：
2022-01-07
发明(设计)人：
李加伟
郭海侠
赖铭智
申请人：
申请人地址：
215024 江苏省苏州市工业园区苏虹东路388号
IPC主分类号：
H01S5183
IPC分类号：
代理机构：
北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467
代理人：
杨楠
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-07 | 公开 | 公开 |
| 2022-01-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 5/183 申请日:20211009 |