一种投影物镜数值孔径测量装置及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010022408.0

申请日：

2010-01-04

公开(公告)号：

CN102116706B

公开(公告)日：

2011-07-06

发明(设计)人：

马明英王帆

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

王光辉

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-27	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01M 11/02 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号
2012-08-29	授权	授权
2011-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101098309744 IPC(主分类):G01M 11/02 专利申请号:2010100224080 申请日:20100104
2011-07-06	公开	公开

共 50 条

[1]

一种投影物镜数值孔径测量装置及方法 [P].

陈红丽 ;

邢廷文 ;

林妩媚 ;

廖志杰 .

中国专利 :CN103439868B ,2013-12-11

[2]

一种高精度显微物镜数值孔径的测量方法及系统 [P].

张蓓 ;

刘雨 ;

陈林 ;

闫鹏 .

中国专利 :CN106908222A ,2017-06-30

[3]

一种显微物镜数值孔径测量方法和装置 [P].

秦义宏 ;

田宝龙 .

中国专利 :CN119437654A ,2025-02-14

[4]

大数值孔径物镜的波像差拼接测量装置及测量方法 [P].

卢云君 ;

唐锋 ;

王向朝 ;

郭福东 .

中国专利 :CN112964455A ,2021-06-15

[5]

数值孔径测量方法、设备及系统 [P].

周少丰 ;

吴迪 ;

王书平 .

中国专利 :CN120927253A ,2025-11-11

[6]

大数值孔径显微物镜波像差测量系统和测量方法 [P].

廖家胜 ;

巩岩 ;

张帅 .

中国专利 :CN109580183B ,2019-04-05

[7]

一种显微物镜的数值孔径测量装置及方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

吴迪 ;

胡辉 ;

高锦龙 .

中国专利 :CN117647381A ,2024-03-05

[8]

一种基于全反射的显微物镜数值孔径测量方法及系统 [P].

张蓓 ;

刘雨 ;

张承乾 ;

闫鹏 .

中国专利 :CN106802232A ,2017-06-06

[9]

投影物镜的数值孔径的在线检测装置及方法 [P].

苏佳妮 ;

齐月静 ;

卢增雄 ;

杨光华 ;

王宇 .

中国专利 :CN108803248B ,2024-04-02

[10]

一种基于衍射光栅的显微物镜数值孔径测量方法 [P].

张蓓 ;

肖天宇 ;

王希奇 ;

闫鹏 ;

胡庆雷 .

中国专利 :CN109916598A ,2019-06-21

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