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多个带电粒子束的装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201680026508.6
申请日：
2016-04-13
公开(公告)号：
CN108292583B
公开(公告)日：
2018-07-17
发明(设计)人：
任伟明
李帅
刘学东
陈仲玮
申请人：
申请人地址：
荷兰维德霍温
IPC主分类号：
H01J4900
IPC分类号：
G01N2300
G21K510
G21K700
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
王茂华;崔卿虎
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-08-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 49/00 申请日:20160413 |
| 2019-03-01 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):H01J 49/00 登记生效日:20190211 变更事项:申请人 变更前权利人:汉民微测科技股份有限公司 变更后权利人:汉民微测科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:中国台湾新竹东区埔顶路18号7层 变更后权利人:荷兰维德霍温 |
| 2019-03-01 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):H01J 49/00 登记生效日:20190211 变更事项:申请人 变更前权利人:汉民微测科技股份有限公司 变更后权利人:ASML 荷兰有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:荷兰维德霍温 变更后权利人:荷兰维德霍温 |
| 2018-07-17 | 公开 | 公开 |
| 2020-03-20 | 授权 | 授权 |