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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-11-22 | 授权 | 授权 |
| 2019-03-05 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 51/50 登记生效日:20190213 变更事项:申请人 变更前权利人:新日铁住金化学株式会社 变更后权利人:日铁化学材料株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京 变更后权利人:日本东京 |
| 2018-03-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 51/50 申请日:20160317 |
| 2017-11-28 | 公开 | 公开 |