晶片清洗装置和蓝宝石晶片生产系统

被引：0

申请号：

CN202220839805.5

申请日：

2022-04-12

公开(公告)号：

CN217342552U

公开(公告)日：

2022-09-02

发明(设计)人：

许永峰宋亚滨翟虎陆继波潘涛陈桥玉

申请人：

申请人地址：

735000 甘肃省酒泉市肃州区经济技术开发区(西园)科研孵化园5号楼501

IPC主分类号：

B08B304

IPC分类号：

B08B102 B08B1300 H01L2167 H01L21673

代理机构：

北京润平知识产权代理有限公司 11283

代理人：

岳永先

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-02	授权	授权

共 50 条

[1]

蓝宝石晶片清洗缓冲装置 [P].

肖迪 ;

邴雪燕 ;

王鑫 .

中国专利 :CN209970778U ,2020-01-21

[2]

一种蓝宝石晶片的清洗装置 [P].

黄根友 .

中国专利 :CN205289101U ,2016-06-08

[3]

一种蓝宝石晶片的清洗装置 [P].

黄根友 .

中国专利 :CN105363729A ,2016-03-02

[4]

蓝宝石晶片表面清洗机构 [P].

周良海 .

中国专利 :CN222220457U ,2024-12-24

[5]

一种蓝宝石晶片清洗防碰撞装置 [P].

周良海 .

中国专利 :CN209772893U ,2019-12-13

[6]

蓝宝石晶片厚度检测装置 [P].

杨国峰 ;

杨文娟 .

中国专利 :CN204194310U ,2015-03-11

[7]

一种蓝宝石晶片清洗机 [P].

王慧芳 ;

林传宝 .

中国专利 :CN215613602U ,2022-01-25

[8]

蓝宝石晶片退火前清洗方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

陈应红 .

中国专利 :CN117463691A ,2024-01-30

[9]

LED用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置 [P].

易晶晶 ;

张艳红 ;

林德肖 .

中国专利 :CN214441420U ,2021-10-22

[10]

晶片泡片装置和晶片生产系统 [P].

宋利国 ;

宋亚滨 ;

翟虎 ;

陆继波 ;

潘涛 ;

陈桥玉 ;

万建军 ;

赵亨山 ;

裴得鑫 .

中国专利 :CN217748387U ,2022-11-08

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